二、上游分析
1.組成部分
刻蝕機主要包括預真空室、刻蝕腔體、供氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)四部分。

資料來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
2.重點企業(yè)分析
刻蝕機主要零部件重點企業(yè)包括新松機器人、上海果納、北京銳潔、上海廣川、富創(chuàng)精密、靖江先鋒、英杰電氣等。

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