中商情報(bào)網(wǎng)訊：近年來(lái)，國(guó)外出臺(tái)的出口新政將對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)帶來(lái)很大的影響，但同時(shí)也帶來(lái)了前所未有的機(jī)遇，將不斷促進(jìn)本國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的發(fā)展。
一、中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)上市企業(yè)整體情況
半導(dǎo)體設(shè)備上游為零部件及系統(tǒng)供應(yīng)環(huán)節(jié)，中游為半導(dǎo)體設(shè)備制造環(huán)節(jié)。
零部件包括軸承、傳感器、石英、邊緣環(huán)、反應(yīng)腔噴淋頭、泵、陶瓷件、射頻發(fā)生器、機(jī)械臂等，核心子系統(tǒng)包括氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系統(tǒng)、集成系統(tǒng)；各類(lèi)半導(dǎo)體設(shè)備，主要包括光刻機(jī)、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、真空鍍膜設(shè)備、清洗設(shè)備、離子注入設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、CMP設(shè)備、熱處理設(shè)備等。
資料來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
代表性企業(yè)有北方華創(chuàng)、盛美上海、中微公司等。
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